| 发明名称 |
VORRICHTUNG ZUM TRANSPORT VON EINEM HALBLEITERWAFER-TRÄGER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60108264(D1) |
申请公布日期 |
2005.02.10 |
| 申请号 |
DE2001608264 |
申请日期 |
2001.10.01 |
| 申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES SC300 GMBH & CO. KG |
发明人 |
PEITER, MARTIN |
| 分类号 |
B65G49/07;H01L21/00;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
B65G49/07 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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