发明名称 Method for the production of a semiconductor device
摘要
申请公布号 AU2005200138(A1) 申请公布日期 2005.02.10
申请号 AU20050200138 申请日期 2005.01.14
申请人 STICHTING ENERGIEONDERZOEK CENTRUM NEDERLAND 发明人 JAN HENDRIK BULTMAN
分类号 H01L21/225;H01L31/068;H01L31/18;(IPC1-7):H01L31/18 主分类号 H01L21/225
代理机构 代理人
主权项
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