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发明名称 Ein Verfahren für die Herstellung einer SO1-Scheibe
摘要
申请公布号 DE69828486(D1) 申请公布日期 2005.02.10
申请号 DE19986028486 申请日期 1998.04.03
申请人 STMICROELECTRONICS S.R.L., AGRATE BRIANZA 发明人 MONTANINI, PIETRO;VILLA, FLAVIO;BARLOCCHI, GABRIELE
分类号 H01L21/3065;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
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