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Die Erfindung betrifft ein Detektorsystem für die Probenkammer eines Rasterelektronenmikroskops, mit dem simultan die Signale in Transmission detektiert werden, die einem Hellfeldkontrast und einem Dunkelfeldkontrast entsprechen. Das Detektorsystem (14) weist dazu in einer Ebene (25) vier Detektoren (15-18) auf, zwischen denen sich ein Loch (19) für einen freien Durchtritt von Elektronen befindet. Hinter diesem Loch (19) ist in einer zweiten Ebene (26) ein weiterer Detektor (27) angeordnet. Die Detektoren sind vorzugsweise Dioden. Die Detektoren (15, 16, 17, 18) in der ersten Ebene (25), die probennäher ist, dienen zur Erzeugung von Signalen, die einem Dunkelfeldkontrast entsprechen. Der weitere, probenfernere Detektor (27) detektiert Signale, die einem Hellfeldkontrast entsprechen. Durch die versetzte Anordnung von vier Dioden (15, 16, 17, 18) in der ersten Ebene (25) lassen sich größere für Elektronen unempfindliche Toträume zwischen den Dioden und um das Loch (19) herum vermeiden.
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