发明名称 Vorrichtung zum Verstellen der Lage zweier Bauelemente zueinander
摘要
申请公布号 DE50105012(D1) 申请公布日期 2005.02.10
申请号 DE20015005012 申请日期 2001.05.22
申请人 CARL ZEISS SMT AG 发明人 RAU, DIPL.-ING.
分类号 G02B7/02;G02B7/08;G02B7/182;G03F7/20;(IPC1-7):G02B7/02 主分类号 G02B7/02
代理机构 代理人
主权项
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