| 发明名称 | 使用混合耦合等离子体的装置 | ||
| 摘要 | 一种混合耦合等离子体型装置，包括：一具有一注气单元的腔室；一位于该腔室中的静电夹盘；一位于该注气单元上的绝缘盘；一高频产生器；一连接到该高频产生器的阻抗匹配电路；以并联方式连接到该阻抗匹配电路的第一和第二天线，该高频产生器的一功率被提供到该第一和第二天线；一以串联方式连接到该第一和第二天线中的一个上的板形电极，该高频产生器的该功率被提供到该电极；和一位于该高频产生器与该第一和第二天线中的一个之间的功率分配器。 | ||
| 申请公布号 | CN1577730A | 申请公布日期 | 2005.02.09 |
| 申请号 | CN200410068892.5 | 申请日期 | 2004.07.14 |
| 申请人 | 周星工程股份有限公司 | 发明人 | 权奇淸;张鸿永;李容官 |
| 分类号 | H01L21/00;H01L21/205;H01L21/3065;H05H1/00 | 主分类号 | H01L21/00 |
| 代理机构 | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 王允方;刘国伟 |
| 主权项 | 1.一种混合耦合等离子体型装置，包括：一具有一注气单元的腔室；一位于该腔室中的静电夹盘；一位于该注气单元上的绝缘盘；一高频产生器；一连接到该高频产生器的阻抗匹配电路；以并联方式连接到该阻抗匹配电路的第一和第二天线，该高频产生器的一功率被提供至该第一和第二天线；一以串联方式连接到该第一和第二天线中的一个上的板形电极，该高频产生器的该功率被提供至该电极；和一位于该高频产生器和该第一与第二天线中的一个之间的功率分配器。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||