基片检查装置中的多用途平台

摘要

一种基片检查装置中的多用途平台，该平台用于固定、和检查基片的外部缺陷，该平台包括：一个矩形的框架；多个在所述框架上的移位装置，每个移位装置用于相应于待检基片的尺寸移动其位置；以及在每个移位装置上的固定装置，用于固定或释放基片的角部，从而允许通过简单的系统和操作来改变该平台上的基片固定装置的位置，以便将不同尺寸的基片稳定地固定在平台上。

主权项

1.一种基片检查装置中的多用途平台，所述平台用于固定基片和检查基片的外部缺陷，所述平台包括：一个矩形的框架；多个在所述框架上的移位装置，每个移位装置用于对应待检基片的尺寸移动自己的位置；以及在每个移位装置上的固定装置，所述固定装置用于固定或释放基片的角部。