包括多晶硅薄膜晶体管的平板显示装置及其制造方法

摘要

本发明涉及一种包括多晶硅薄膜晶体管的平板显示装置及其制造方法。形成于这种平板显示装置的驱动电路部分和象素部分的薄膜晶体管的有源沟道区域中的多晶硅晶粒的晶粒大小彼此不相同。而且，这种平板显示装置包括彼此具有不同晶粒形状的P型和N型薄膜晶体管。对于诸如电流迁移率这样的电特性，在驱动电路部分中要好于在所述象素部分中。而且，由于晶粒大小在象素部分中比在驱动电路部分中更为均匀，所以在象素部分中具有更好的电流一致性。

主权项

1、一种平板显示装置，包括：一象素部分，包括多个薄膜晶体管，其中所述多个薄膜晶体管由通过一栅极线和一数据线传送来的信号进行驱动；和一驱动电路部分，具有至少一个薄膜晶体管，用于向所述象素部分传送信号并且被连接到所述栅极线和所述数据线，其中形成于所述至少一个薄膜晶体管的有源沟道中的每单位面积上的多晶硅晶粒平均数目小于形成于包括在所述象素部分中的所述多个薄膜晶体管的一个的有源沟道中的多晶硅晶粒平均数目。