喷嘴板、包含喷嘴板的喷墨打印头和制造喷墨打印头喷嘴板的方法

摘要

本发明提供了喷墨打印头的喷嘴板(10)及其制造方法。该喷嘴板具有聚合物层、粘附在聚合物层上的粘附层，它们确定了喷嘴板的厚度，和聚合物层和粘附层的烧蚀部分，它确定了包含墨流通道(16)、喷射腔(14)、喷嘴孔(18)、供墨区域(24)和在喷嘴板供墨区域中的聚合物材料的一个或多个凸出部分(26)。该一个或多个凸出部分选自：由烧蚀部分包围着的聚合物材料的延伸部分；高度小于喷嘴板厚度的部分烧蚀的相互分开的延伸指形物，它与墨流通道平行并偏离地设置；和高度小于喷嘴板厚度的许多相互分开的凸出部分，它们从与墨流通道相邻的涉及流动特性的部件表面延伸，并且相邻的凸出部分之间的间隔足以在沉渣进入墨流通道流向喷射腔之前将沉渣阻挡住。

主权项

1、一种制造喷墨打印头喷嘴板的方法，包括：提供由聚合物材料层制成的聚合物薄膜，该聚合物材料层包含有粘附层和覆盖在该粘附层上的保护层；在薄膜上穿过所述保护层和粘附层用激光烧蚀制出墨流通道，喷射腔，喷嘴孔和供墨区域，从而构成喷嘴板的涉及流动特性的部件；从薄膜上去除保护层；从所述薄膜中分离出单个喷嘴板，并将这些喷嘴板固定到半导体基底上，该方法的特征在于：在烧蚀后至少保留一部分在喷嘴板供墨区域中的聚合物材料，因而减少在烧蚀步骤中产生的沉渣，保留的聚合物部分和与墨流通道相邻的未烧蚀区域之间的间隔足以在沉渣进入墨流通道流向喷射腔之前将沉渣阻挡住，其高度小于聚合物和粘附层的总厚度，并且选自：由烧蚀部分包围着的聚合物材料的延伸部分，它基本上与墨流通道相垂直；部分烧蚀的相互分开的延伸指形物，它与墨流通道相平行并偏离地设置；和与墨流通道相邻的相互分开的聚合物材料的交错排列的凸出部分。