固体有机金属化合物用填充容器及其填充方法

摘要

提供一种能将固体有机金属化合物用一定的浓度长期稳定地供给MOCVD装置等的气相外延成长用装置的新型填充容器。在具有载体气体导入口(2)和载体气体排出口(3)的固体有机金属化合物用填充容器中，其特征在于有这样的结构，即填充容器内部被分隔为多个纵形空间，从载体导入口(2)导入的载体气体沿各纵形空间流通，从载体气体排出口(3)排出。

主权项

1.一种固体有机金属化合物用填充容器，具有载体气体导入口和载体气体排出口，其特征在于，具有将填充容器内部分隔成多个纵形空间，从载体气体导入口导入的载体气体沿各纵形空间流通，从载体气体排出口排出的结构。