具有改进的剥离能力和分辨率的光成像组合物及干膜光刻胶

摘要

在制造印刷电路板用作主要成像光刻胶的负像成像的光成像组合物，包括酸官能团的粘合剂聚合物、光聚合成分和光引发剂化学系统。其中所有或部分的光聚合成分包括(甲基)丙烯酸酯官能团氨基甲酸酯低聚物，其中，(甲基)丙烯酸酯官能团由至少两个烯化氧基团和至少一个开环的内酯基团的与氨基甲酸酯键隔开，以改进柔韧性、断裂强度、细线粘合、显影剂起渣，以及改进对加工化学品如碱显影溶液、酸蚀刻溶液和酸电镀浴的抗性，以及在强碱水溶液中的剥离能力。酸官能团粘合剂聚合物具有低分子量并且不含苯乙烯，增加剥离能力和改进分辨率。

主权项

1.一种可在碱水溶液中显影的负像成像的光成像组合物，所说的组合物包括：I)酸值150-300，重均分子量5000-60000的粘合剂聚合物，所说的聚合物没有苯乙烯或苯乙烯同系物；II)用于所说的粘合剂聚合物的光聚合的物质；以及III)光引发剂化学系统；其中I)占I)+II)+III)总重量30-79.9％； II)占I)+II)+III)总重量的20-69.9％；以及 III)占I)+II)+III)总重量的0.1-20％，其中所有的或部分的所说的光聚合物质包括(甲基)丙烯酸酯官能的氨基甲酸酯低聚物，其中(甲基)丙烯酸酯官能团通过两个或多个烯化氧和一个或多个开环内酯基团与氨基甲酸酯键隔开。