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发明名称 IMPROVED ELECTRODE FOR THIN FILM CAPACITOR DEVICES
摘要
申请公布号 EP1504460(A1) 申请公布日期 2005.02.09
申请号 EP20030734002 申请日期 2003.05.12
申请人 RAYTHEON COMPANY 发明人 DRAB, JOHN, J.;DOUGHERTY, THOMAS, K.;KEHLE, KATHLEEN, A.
分类号 H01L27/105;H01G4/008;H01G4/10;H01G4/33;H01L21/02;H01L21/316;H01L21/8246;(IPC1-7):H01G4/005;H01L21/283 主分类号 H01L27/105
代理机构 代理人
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