台式涂敷机用工作台装置

摘要

本发明提供一种能够防止微小振动产生的涂敷不匀的台式涂敷机用工作台装置。本工作台装置用滑动件在设置于工作台(10)上的石平台(20)上配置的基板台(30)的上方沿一轴方向运送喷嘴(60)。滑动件包括由2台线性电动机构成的2个Y轴驱动机构(40A、40B)，该线性电动机具有能够沿设置在石平台的两侧沿上述一轴方向互相平行延伸地配置的2条导轨(21A、21B)行走的可动部。各线性电动机的轭铁介由结构上与石平台分离设置的、沿一个轴的方向延伸的臂(11A、11B)，沿导轨配置；工作台与石平台之间至少设置了1个减振单元(25)。

主权项

1.一种台式涂敷机用工作台装置，其包括第1滑动件，该第1滑动件能够在设置于架台上的平台上沿一轴方向运送喷嘴部，其特征在于，上述第1滑动件由线性电动机构成；使该线性电动机的可动部能够沿设置在上述平台上的、沿上述一轴方向延伸的导轨部行走；上述线性电动机的轭铁部是以介由结构上与上述平台分离设置的、沿上述一轴方向延伸的臂从而沿着上述导轨部的方式设置的；上述架台与上述平台之间至少设置了1个减振单元。