图像测定装置、方法以及媒体

摘要

在这个用于测量多个工件的装置中，包括用于支持放置的测量对象的载物台；用于对放置在所述载物台上的测量对象成像的成像装置；和用于测量由所述成像装置获取的图像中的测量对象图像的处理装置；其中所述处理装置将所述载物台分为多个部分，以形成多个测量部分，其中每一个所述测量部分具有一个测量对象图像，并为所述多个测量部分中的每一个测量部分设置测量程序，并根据相应的测量程序，分别在所述多个测量部分中测量每一个测量对象图像，从而能够通过简单操作有效测量多个工件。本发明还揭示了基于此的图像测定装置和方法。

主权项

1.一种图像测定装置，其特征在于包含：用于支持放置的测量对象的载物台；用于对放置在所述载物台上的测量对象成像的成像装置；和用于测量由所述成像装置获取的图像中的测量对象图像的处理装置；其中所述处理装置将所述载物台分为多个部分，以形成多个测量部分，其中每一个所述测量部分具有一个测量对象图像，并为所述多个测量部分中的每一个测量部分设置测量程序，并根据相应的测量程序，分别在所述多个测量部分中测量每一个测量对象图像。