具有干涉条纹扫描功能的干涉计装置

摘要

本发明是关于一种具有干涉条纹扫描功能的干涉计装置，可以通过在路径匹配路径部处，设置有使通过两条路径的光束相位差变化并可以实施干涉条纹扫描的相位差可变更单元，形成不易受到外部振动影响的基准板支撑机构，且可以使制造成本低廉。其中的光路长度变更部30，可以将两个全反射镜23、24固定设置在托板部件31上，通过驱动安装在该托板部件31上的压电元件14，可以使全反射镜23、24整体沿箭头A所示方向往复移动，从而改变通过两条路径的光束间的相位差。压电元件14可以由作为驱动单元的压电元件驱动部分16实施驱动。压电元件驱动部分16可以因应与计算机11给出的控制信号从载物台控制部分15输出，依据压电元件输出信号将预定的驱动电压施加在压电元件14上。

主权项

1、一种具有干涉条纹扫描功能的干涉计装置，具有光源、路径匹配(path match)路径部，将由该光源给出的光束分成两束，并使该两束光束分别通过将彼此的光路长度差调整为相当于干涉计的基准面与被检测物体的被检测面间的光学距离两倍的两条路径之后，对两束光束实施合并输出，以及准直透镜，将从该路径匹配路径部输出的光束作为平行光束照射至所述基准面，而且具有干涉条纹扫描功能，依据由该基准面反射的光波面和透射过所述基准面并由所述被检测面反射的光波面的干涉形成的干涉条纹，获得该被检测面的波面信息，其特征在于在所述路径匹配路径部处，具有相位差可变单元，使通过所述两条路径的光束相位差变化而可实施条纹扫描。