氮化硅质过滤器的制造方法

摘要

本发明提供一种以金属硅粒子作为起始原料，最适于高强度除尘和脱尘的氮化硅质过滤器的制造方法。它是通过在氮中对含有60－95质量％的金属硅粒子和5－40质量％的气孔形成材料的成形体进行热处理以制得实质上金属硅被氮化的氮化硅，原料的金属硅粒子是粒径为5－100μm的粒子占全部金属硅粒子中的70质量％以上并且平均粒径为10－75μm的粒子。更加适合的是，在上述成形体中包含含有选自Mg、Ca、Fe及Cu中的1种以上的金属元素的无机酸盐、有机酸盐以及氢氧化物中的1种或1种以上。

主权项

1.氮化硅质过滤器的制造方法，其特征在于，通过在氮中对含有60-95质量％的金属硅粒子和5-40质量％的气孔形成材料的成形体进行热处理以制得实质上金属硅被氮化的氮化硅，原料的金属硅粒子是粒径为5-100μm的粒子占全部金属硅粒子中的70质量％以上并且平均粒径为10-75μm的粒子。