压电致动器及液体喷头

摘要

本发明公开了一种压电致动器，具有在将(100)取向的钌酸锶用作下部电极时最合适的层结构。该压电致动器包括：振动板(30)，所述振动板(30)由在(100)－Si衬底(20)上外延生长的具有(100)取向的氧化钇稳定的氧化锆、CeO₂或ZrO₂构成；具有(001)取向的REBa₂Cu₃O_x的缓冲层(41)，所述缓冲层(41)形成在所述振动板(30)上；下部电极(42)，所述下部(42)电极形成在所述缓冲层上，且包括(100)取向的钌酸锶；压电层(43)，所述压电层(43)形成在所述下部电极(42)上，且由(100)取向的PZT构成；以及形成在所述压电层上的上部电极(44)。

主权项

1.一种压电致动器，包括：振动板，所述振动板由具有萤石结构的在(100)取向的Si衬底上以立方晶系(100)取向外延生长的氧化钇稳定的氧化锆、CeO2或ZrO2构成；缓冲层，所述缓冲层形成在所述振动板上，且由具有层状钙钛矿结构的正方晶系或斜方晶系(001)取向的REBa2Cu3Ox(RE＝La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Lu、Y)构成；下部电极，所述下部电极形成在所述缓冲层上，由具有钙钛矿结构的假立方晶系(100)取向的钌酸锶构成；压电层，所述压电层形成在所述下部电极上，具有菱方晶系(100)取向的钙钛矿结构；和上部电极，所述上部电极形成在所述压电层上。