校准测试装置测试频道之校准装置及测试系统

摘要

本发明关于校准装置用以校准测试装置之测试频道，使一衬底晶片上之集成组件可为了以电子信号测试而被接触连接，该校准装置具有一连接装置以及具有一第一接触区域及与该第一接触区域隔离之一第二接触区域之一平面接触载体，其可经由该连接装置被电连接，该连接装置适用于连接该第一及第二接触区域至该测试装置，该第一接触区域实质上由该第二接触区域包围，因此，当连接至该测试装置之一针卡被放置于该校准装置之该接触载体之上时，该针卡之连接至将被校准之测试频道之一接触连接针被设置于该第一接触区域之上，且实质上复数或所有该针卡之位于未被校准之测试频道之其它接触针被放置于该第二接触区域。

主权项

1.一种校准装置(20，30，40)，用以校准一测试装置(12)之一测试频道(14)，使一衬底晶片(1)上之集成组件可以为以电子信号测试而被接触连接，该校准装置(20，30，40)，具有一连接装置以及具有一第一接触区域(2，47)及与该第一接触区域(2，47)隔离之一第二接触区域(3，49)之一平面接触载体，其可经由该连接装置(5)被电连接，该连接装置(5)适用于连接该第一及第二接触区域(2，3，47，49)至该测试装置(12)，该第一接触区域(2，47)实质上由该第二接触区域包围，因此，当连接至该测试装置(12)之一针卡(15)被放置于该校准装置(20，30，40)之该接触载体之上时，该针卡(15)之连接至将被校准之测试频道之一接触连接针(16)被设置于该第一接触区域(2，47)之上，且实质上复数或所有该针卡(15)之位于未被校准之测试频道(14)之其它接触针(16)被放置于该第二接触区域(3，49)。