发明名称 |
三维取向氧化锌薄膜的制备方法 |
摘要 |
一种三维取向氧化锌薄膜的制备方法,首先将锌盐、氨水和铵盐按一定比例溶于去离子水,制备成薄膜生长反应液,然后将处理过的基片浸入制备好的薄膜生长反应液中,在预浸泡30~60分钟后,升温至94~97℃,反应30~60分钟即可获得致密的具有三维取向排列的氧化锌薄膜。本发明方法操作简单、成本低,生产周期短,制备的氧化锌薄膜由三维排列的微米棒组成,平均粒径为200nm,长度5μm。 |
申请公布号 |
CN1188901C |
申请公布日期 |
2005.02.09 |
申请号 |
CN03116798.5 |
申请日期 |
2003.05.08 |
申请人 |
上海交通大学 |
发明人 |
王卓;钱雪峰;朱子康 |
分类号 |
H01L21/208;C23C18/00;C01G9/02 |
主分类号 |
H01L21/208 |
代理机构 |
上海交达专利事务所 |
代理人 |
毛翠莹 |
主权项 |
1、一种三维取向氧化锌薄膜的制备方法,其特征在于包括如下步骤:①薄膜生长反应液的制备:将锌盐、氨水和铵盐溶于去离子水,制备成薄膜生长反应液,每100ml水溶液中含锌盐0.01mol、质量比为25%的氨水5ml和铵盐0.002mol,其中所述锌盐为硝酸锌或醋酸锌,铵盐为硝酸铵或氯化铵;②基片的预处理:将基片浸入到沸腾的98%的浓硫酸中5~10小时,然后浸入到丙酮溶液中超声30~60分钟,再用去离子水冲洗后将基片在真空烘箱中晾干待用;③三维取向氧化锌薄膜的合成:将基片浸润到薄膜生长反应溶液中30~60分钟,然后升温进行反应,反应温度94~97℃,升温速率10~20度/分,反应时间30~60分钟,反应结束后快速冷却,然后将基片放于去离子水中超声1~2分钟,用去离子水冲洗后自然晾干,即可获得三维取向氧化锌薄膜。 |
地址 |
200030上海市华山路1954号 |