发明名称 |
具有改进柔韧性和剥离能力的光成像组合物、干膜光刻胶及其低聚物 |
摘要 |
在制造印刷电路板用作主要成像光刻胶的负像成像的光成像组合物,包括酸官能团的粘合剂聚合物、光聚合成分和光引发剂化学系统。其中所有或部分的光聚合成分包括(甲基)丙烯酸酯官能团氨基甲酸酯低聚物,其中,(甲基)丙烯酸酯官能团由至少两个烯化氧基团和至少一个开环的内酯基团的与氨基甲酸酯键隔开,以改进柔韧性、断裂强度、细线粘合、显影剂起渣,以及改进对加工化学品如碱显影溶液、酸蚀刻溶液和酸电镀浴的抗性,以及在强碱水溶液中的剥离能力。 |
申请公布号 |
CN1188748C |
申请公布日期 |
2005.02.09 |
申请号 |
CN99126102.X |
申请日期 |
1999.12.10 |
申请人 |
希普雷公司 |
发明人 |
D·E·鲁恩迪;R·K·巴尔;E·J·瑞尔顿 |
分类号 |
G03F7/027 |
主分类号 |
G03F7/027 |
代理机构 |
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 |
代理人 |
陈季壮 |
主权项 |
1.一种负像成像的光成像组合物,此组合物包括:I)具有足够的酸值为至少80的酸官能团的粘合剂聚合物,以使所说的光成像组合物可以在碱水溶液中显影;II)用于所说的粘合剂聚合物的光聚合物质;以及III)光引发剂化学系统,其中I)占I)+II)+III)总重量30-79.9%; II)占I)+II)+III)总重量的20-69.9%;以及 III)占I)+II)+III)总重量的0.1-20%,其中所有或部分的光聚合的物质包括(甲基)丙烯酸酯官能的氨基甲酸酯低聚物,其中(甲基)丙烯酸酯官能团由两个或多个烯化氧基团和一个或多个开环内酯基团与氨基甲酸酯键隔开。 |
地址 |
美国马萨诸塞 |