一种光学镀膜近红外膜厚监控仪

摘要

本实用新型涉及光学真空镀膜机的监控系统领域，更具体的说是一种光学镀膜近红外膜厚监控仪。本实用新型的目的在于克服现有技术中的缺点和不足，提供一种可以实现对镀膜机光学镀膜近红外信号精准监控，结构简单，成本低廉的光学镀膜近红外膜厚监控仪。本实用新型包括信号通道，参考通道，相关器，输出装置和控制器。控制器用于控制信号通道、参考通道、相关器的参数设置和输出装置的信号输出状态。信号通道和参考通道的输出端与相关器的输入端连接，控制器与信号通道、参考通道的控制端，相关器的控制端、输出端，和输出装置的输入端连接。

主权项

1.一种光学镀膜近红外膜厚监控仪，其特征是包括信号通道(1)，用于放大监控信号，抑制和滤除部分干扰和噪声，扩大监控信号的动态范围；参考通道(2)，用于产生一个与监控信号频率同步的参考信号；相关器(3)，用于将监控信号和参考信号进行数学运算，提取信号；输出装置(4)，用于输出监控数据；控制器(5)，用于控制信号通道(1)、参考通道(2)、相关器(3)的参数设置和输出装置(4)的信号输出；信号通道(1)和参考通道(2)的输出端与相关器(3)的输入端连接，控制器(5)分别与信号通道(1)及参考通道(2)的控制端，相关器(3)的控制端及输出端，输出装置(4)的输入端连接。