| 发明名称 | 感光性树脂前体组合物 | ||
| 摘要 | 本发明涉及曝光后放置稳定性优异的、可碱显影的正型感光性树脂前体组合物。此外，本发明为一种感光性树脂前体组合物，其特征为包含(a)以通式(1)所示结构单元为主成分的聚合物、(b)2种或其以上的光产酸剂、(c)含有烷氧基甲基的化合物。式中R<SUP>1</SUP>表示具有2个或其以上碳原子的2价到8价的有机基团、R<SUP>2</SUP>表示具有2个或其以上碳原子的2价到6价的有机基团、R<SUP>3</SUP>表示氢、或碳原子数为1到20的有机基团中的任何一种。n表示10到100000，m为0到2的整数、p、q表示0到4的整数。其中p+q＞0。 | ||
| 申请公布号 | CN1577088A | 申请公布日期 | 2005.02.09 |
| 申请号 | CN200410062424.7 | 申请日期 | 2004.07.07 |
| 申请人 | 东丽株式会社 | 发明人 | 藤田阳二;弓场智之;诹访充史 |
| 分类号 | G03F7/004;G03F7/039 | 主分类号 | G03F7/004 |
| 代理机构 | 北京市中咨律师事务所 | 代理人 | 段承恩;田欣 |
| 主权项 | 1.一种感光性树脂前体组合物，其特征在于，包含(a)以通式(1)所示结构单元为主成分的聚合物、(b)2种或其以上的光产酸剂、(c)含有烷氧基甲基的化合物，<img file="A2004100624240002C1.GIF" wi="990" he="298" />式中R<sup>1</sup>表示具有2个或其以上碳原子的2价到8价的有机基团、R<sup>2</sup>表示具有2个或其以上碳原子的2价到6价的有机基团、R<sup>3</sup>表示氢、或碳原子数为1到20的有机基团中的任何一种，n表示10到100000，m为0到2的整数、p、q表示0到4的整数，其中p+q＞0。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||