发明名称 无水的液相制备高纯度含羟基聚合物的方法
摘要 一种无水的液相制备高纯度含羟基聚合物的方法,包括聚合、提纯、酯交换、提纯、除去催化剂和溶剂交换步骤。最终的在溶液中的聚合物在不需要进一步的加工步骤的条件下,能直接地用于制备一种光致抗蚀剂组合物。
申请公布号 CN1578794A 申请公布日期 2005.02.09
申请号 CN03801445.9 申请日期 2003.04.10
申请人 杜邦电子科技有限公司 发明人 M·T·希恩;J·R·桑尼克
分类号 C08F6/04;C08J3/09 主分类号 C08F6/04
代理机构 北京纪凯知识产权代理有限公司 代理人 戈泊;程伟
主权项 1.一种在溶液中液相制备无水的纯的含羟基聚合物的方法,它包括以下步骤:(A)在一种第一溶剂中,在引发剂的存在下,在充分的温度和压力下,在充分的时间内聚合一种或多种单体,所述的单体选自取代的苯乙烯丙烯酸烷基酯,乙烯基不饱和可共聚的单体和其混合物,以形成一种聚合物和第一溶剂混合物;(B)通过分馏提纯该聚合物和第一溶剂混合物,其中再向所述混合物中添加第一溶剂,加热和/或搅拌所述混合物,使混合物沉降,倾析出第一溶剂,并再添加第一溶剂,并重复该分馏过程至少一次,(C)所述提纯后的步骤(B)的混合物进行酯交换反应,其中在催化剂的存在下,在充分的温度和压力下,在充分的时间内,在所述第一溶剂的沸点下回流所述混合物,以形成一种包含含羟基的聚合物和第一溶剂的反应混合物;(D)提纯来自步骤(C)的反应混合物,其中将一种第二溶剂与所述反应混合物混合,其中所述的第二溶剂是不混溶的,使层分离,并除去所述第二溶剂和任何溶解的副产物和已溶于其中的低重均分子量聚合物;(E)使所述提纯后的步骤(D)的反应混合物通过一种离子交换物质,以除去任何来自上述步骤的催化剂并因此提供一种基本上无催化剂的含羟基的聚合物溶液;(F)向来自步骤(E)的所述含羟基的聚合物溶液中添加一种与光致抗蚀剂相容的第三溶剂,然后在至少为所述第一溶剂的沸点的温度下,在充分的时间内,蒸馏第一溶剂以除去基本上所有的所述第一溶剂,提供一种在所述第三溶剂中的基本上纯的含羟基的聚合物溶液。
地址 美国德克萨斯州