| 发明名称 | 无尘室系统 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种无尘室系统。该无尘室包括多个多级无尘室和空气通道。该多个多级无尘室至少具有下层无尘室和位于其上的上层无尘室。该空气通道允许空气在该上层无尘室和该下层无尘室之间流动并且使气流平稳。 | ||
| 申请公布号 | CN1577721A | 申请公布日期 | 2005.02.09 |
| 申请号 | CN200410049801.3 | 申请日期 | 2004.06.24 |
| 申请人 | LG.飞利浦LCD有限公司 | 发明人 | 金东汉 |
| 分类号 | H01L21/00;G02F1/13 | 主分类号 | H01L21/00 |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人 | 陈坚 |
| 主权项 | 1、一种无尘室系统，包括：多个多级无尘室，它们至少具有下层无尘室和设置在该下层无尘室之上的上层无尘室；以及空气通道，其设置成允许空气在该上层无尘室和该下层无尘室之间流动并且使气流平稳。 | ||
| 地址 | 韩国汉城 | ||