发明名称 PICKER FOR MOVING PERFORATED PANNEL OF CLEAN ROOM AND PICKING METHOD
摘要
申请公布号 KR100472415(B1) 申请公布日期 2005.02.05
申请号 KR19970067955 申请日期 1997.12.11
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 RYU, JAE JUN;HWANG, TAE JIN;LIM, GI HWAN;CHOI, JAE HEUNG
分类号 H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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