| 发明名称 |
PROCEDE ET APPAREIL POUR ACCENTUER LE NETTOYAGE DE CHAMBRE DE TRAITEMENT |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
FR2794036(B1) |
申请公布日期 |
2005.02.04 |
| 申请号 |
FR20000006835 |
申请日期 |
2000.05.29 |
| 申请人 |
APPLIED KOMATSU TECHNOLOGY INC |
发明人 |
SUN SHENG;SHANG QUANYUAN;YADAV SANJAY;HARSHBARGER WILLIAM R;LAW KAM S |
| 分类号 |
H01L21/02;B08B7/00;B08B9/08;B08B17/06;C23C16/44;H01L21/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):B01J4/00;B08B7/04;B08B5/00;C23C16/513 |
主分类号 |
H01L21/02 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
