发明名称 Verfahren zum Teilen eines nicht-metallischen Substrats
摘要 Verfahren zum Teilen eines nicht-metallischen Substrats mit einer ersten Fläche und einer zweiten Fläche, die parallel zu der ersten Fläche gebildet ist, aufweisend: DOLLAR A einen eine verschlechterte bzw. zersetzte Schicht bildenden Schritt zum Bilden einer verschlechterten bzw. zersetzten Schicht in dem Inneren des nichtmetallischen Substrats entlang Teilungslinien durch Aufbringen eines Laserstrahls, der dazu befähigt ist, durch das nicht-metallische Substrat von der ersten Flächenseite her hindurchzugehen, wobei der konvergente Punkt des Laserstrahls an der Innenseite bzw. in dem Inneren des nicht-metallischen Substrats liegt; und DOLLAR A einen die verschlechterte Schicht exponierenden bzw. freilegenden Schritt zum Exponieren bzw. Freilegen der verschlechterten Schicht zu der ersten Fläche durch Schleifen der ersten Flächenseite des nicht-metallischen Substrats mit der hierin gebildeten, verschlechterten Schicht.
申请公布号 DE102004025707(A1) 申请公布日期 2005.02.03
申请号 DE20041025707 申请日期 2004.05.26
申请人 DISCO CORP., TOKIO/TOKYO 发明人 NAGAI, YUSUKE
分类号 B23K26/00;B23K26/40;B23K101/40;H01L21/00;H01L21/301;H01L21/304;H01L21/78;(IPC1-7):H01L21/78;B26F3/00;B24B7/22;B23K26/38 主分类号 B23K26/00
代理机构 代理人
主权项
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