| 摘要 |
Zur Bestimmung der Brechzahl und/oder Kompensation des Brechzahleinflusses bei interferometrischen Längenmessungen mithilfe eines mit wenigstens zwei Messstrahlen (v¶2¶, v¶3¶) mit wenigstens definierten, etwa in einem harmonischen Verhältnis zueinander stehenden Frequenzen beaufschlagten Interferometers (13, 13'), an dessen Ausgang interferometrisch Phasen für die wenigstens zwei Messstrahlen (v¶2¶, v¶3¶) ausgewertet werden, wobei eine dem harmonischen Verhältnis der Frequenzen der Messstrahlen (v¶2¶, v¶3¶) entsprechende Multiplikation der interferometrischen Phasen vorgenommen und wenigstens eine Phasendifferenz der so gebildeten Phasenwerte betrachtet wird, wird vorgesehen, dass wenigstens einer der Messstrahlen (v¶3¶) in seiner Frequenz variierbar ist und dass aus der gebildeten Phasendifferenz ein Steuersignal zur Veränderung der Frequenz des in seiner Frequenz veränderbaren Messstrahls (v¶3¶) gebildet wird, mit dem die Frequenz so geregelt wird, dass die Phasendifferenz zu Null wird. Hierdurch kann die Ermittlung der Brechzahl oder die Längenmessung durch eine Messung einer Frequenzdifferenz erfolgen.
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