| 发明名称 |
Verfahren zur Herstellung einer mikromechanischen Struktur |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE10002363(B4) |
申请公布日期 |
2005.02.03 |
| 申请号 |
DE2000102363 |
申请日期 |
2000.01.20 |
| 申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
MAIER-SCHNEIDER, DIETER;WITTMANN, REINHARD |
| 分类号 |
B81B3/00;(IPC1-7):B81C1/00 |
主分类号 |
B81B3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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