METHOD FOR THE SELF-ADJUSTED REDUCTION IN SIZE OF STRUCTURES

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur selbstjustierenden Verkleinerung von Strukturen in einer Schichtenfolge, bei der zumindest eine Metallschicht auf einem Substrat angeordnet ist, wobei die zu verkleinernde Struktur durch, die mindestens eine Metallschicht begrenzt wird. Das Verfahren ist dadurch gekennzeichnet, dass die Metallschicht durch Oxidation vollständig in ein Metalloxid umgewandelt wird. Bei der vollständigen Oxidation von z. B. Tantal zu Tantalpentoxid wird das 2 bis 2,5-fache Volumen des reinen Metalls gebildet. Über derartige Faktoren ist die Verkleinerung der vom Metall begrenzten Strukturen möglich.