| 发明名称 |
Accelerometer protected by caps applied at the wafer scale |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
AU2002218868(B2) |
申请公布日期 |
2005.02.03 |
| 申请号 |
AU20020218868 |
申请日期 |
2002.01.08 |
| 申请人 |
SILVERBROOK RESEARCH PTY. LTD. |
发明人 |
KIA SILVERBROOK |
| 分类号 |
(IPC1-7):G01P015/08;H01L023/04;H01L021/822 |
主分类号 |
(IPC1-7):G01P015/08 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
