发明名称 |
Herstellungsverfahren für integrierten Schaltkreis mit Prozessor und gegenüberliegend angeordnetem räumlichen Lichtmodulator |
摘要 |
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申请公布号 |
DE60017172(D1) |
申请公布日期 |
2005.02.03 |
申请号 |
DE20006017172 |
申请日期 |
2000.10.04 |
申请人 |
INTEL CORPORATION, SANTA CLARA |
发明人 |
SMITH, D.;RAJ, KANNAN |
分类号 |
G02F1/13;G02F1/1333;G02F1/1345;G02F1/1362;H01L27/15;(IPC1-7):G02F1/136;G02F1/133;G02F1/134 |
主分类号 |
G02F1/13 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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