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发明名称 Verfahren zur scannenden Beleuchtung eines Retikels sowie mikrolithografische Projektionsbelichtungsanlage
摘要
申请公布号 DE10314253(B4) 申请公布日期 2005.02.03
申请号 DE20031014253 申请日期 2003.03.29
申请人 CARL ZEISS SMT AG 发明人 ZEILER, ANDREAS
分类号 G03F7/20;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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