| 发明名称 | 一种用于半导体装置的设备 | ||
| 摘要 | 一种用于半导体装置的设备，其包括：一个室；一个位于所述室内的感受器；多个位于所述感受器上的加热板块；通过所述感受器的起模针组合件；一个位于所述感受器上的基板保持器，基板保持器具有多个对应于与所述多个加热板块的通孔；和一个通过所述感受器与所述基板保持器组合的轴。 | ||
| 申请公布号 | CN1574206A | 申请公布日期 | 2005.02.02 |
| 申请号 | CN200410046183.7 | 申请日期 | 2004.06.02 |
| 申请人 | 周星工程股份有限公司 | 发明人 | 黄喆周;李相坤 |
| 分类号 | H01L21/00 | 主分类号 | H01L21/00 |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 程伟;王初 |
| 主权项 | 1.一种用于半导体装置的设备，其包括：一个室；一个位于室中的感受器；多个位于所述感受器上的加热板块；一个通过所述感受器的起模针组件；一个位于所述感受器上的基板保持器，所述基板保持器具有多个对应于所述多个加热板块的通孔；和一个通过所感受器与所述基板保持器相组合的轴。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||