发明名称 | 具有用沟槽结构分隔的微透镜阵列的图象传感器及制造方法 | ||
摘要 | 本发明公开了一种具有微透镜的图象传感器。该图象传感器包括多个形成于半导体衬底内的象素,每个象素都含有光敏感元件。在每个光敏感元件的上面形成了微透镜。最后,沟槽结构包围每个微透镜。 | ||
申请公布号 | CN1574381A | 申请公布日期 | 2005.02.02 |
申请号 | CN200310102574.1 | 申请日期 | 2003.10.23 |
申请人 | 华微半导体(上海)有限责任公司 | 发明人 | 山本克已 |
分类号 | H01L27/146;H04N5/335;G02B1/04;G02B3/00;G02B5/20 | 主分类号 | H01L27/146 |
代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 王永刚 |
主权项 | 1.一种图象传感器包括:多个象素,其形成于半导体衬底内,每一个象素都包含光敏感元件;在每个所述光敏感元件上面的微透镜;和沟槽结构,其包围每一个微透镜。 | ||
地址 | 200031中国上海淮海中路1325号1003室 |