发明名称 具有用沟槽结构分隔的微透镜阵列的图象传感器及制造方法
摘要 本发明公开了一种具有微透镜的图象传感器。该图象传感器包括多个形成于半导体衬底内的象素,每个象素都含有光敏感元件。在每个光敏感元件的上面形成了微透镜。最后,沟槽结构包围每个微透镜。
申请公布号 CN1574381A 申请公布日期 2005.02.02
申请号 CN200310102574.1 申请日期 2003.10.23
申请人 华微半导体(上海)有限责任公司 发明人 山本克已
分类号 H01L27/146;H04N5/335;G02B1/04;G02B3/00;G02B5/20 主分类号 H01L27/146
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人 王永刚
主权项 1.一种图象传感器包括:多个象素,其形成于半导体衬底内,每一个象素都包含光敏感元件;在每个所述光敏感元件上面的微透镜;和沟槽结构,其包围每一个微透镜。
地址 200031中国上海淮海中路1325号1003室