薄膜的制造方法及制造装置、薄膜层叠体和电子元件

摘要

一种形成薄膜的方法，在该方法中，在真空中在支撑体上形成金属等的薄膜时，在薄膜的形成之前，从喷嘴孔作为蒸汽流在薄膜上施加形成图形用的构图材料并在支撑体上附着了该液化物之后形成薄膜，这样来施加构图材料，使得从多个喷嘴孔施加的构图材料在支撑体上进行一体化。可形成即使图形宽度变宽、在图形端部处的模糊程度也小的图形。

主权项

1.一种薄膜制造装置，包括：真空槽；上述真空槽内的支撑体；在上述支撑体上形成薄膜的薄膜形成装置；以及为了在上述薄膜上形成图形而在上述薄膜的形成之前在上述支撑体上施加构图材料的构图材料施加装置，上述支撑体具有相对于上述构图材料施加装置移动的机构，其特征在于：上述构图材料施加装置具有使构图材料的蒸汽喷出到上述支撑体上的喷嘴孔，上述喷嘴孔的形状是这样的，与上述支撑体相对移动的方向相比，在与其正交的方向上较长。