化学增强负型辐射敏感性树脂组合物

摘要

本发明公开了一种包含碱溶性树脂的辐射敏感性树脂组合物，例如酚醛清漆-醌二叠氮化物正型辐射敏感性树脂组合物和化学增强的负型树脂组合物，其中，碱溶性树脂包含至少一种碱溶性树脂，该碱溶性树脂是通过使通式(I)表示的化合物与苯酚以及必要时与醛进行缩聚获得的。∴其中，R代表羟基或1～4个碳原子的烷基，n为0或1～3的整数，当n为2或3时，每一个R基团可相同或不同。

主权项

1.一种化学增强负型辐射敏感性树脂组合物，该组合物包含碱溶性树脂、交联剂和产酸剂，其中，所述的碱溶性树脂包含至少一种采用通式(1)表示的化合物与酚和醛进行缩聚获得的碱溶性树脂：其中，R代表1～4个碳原子的烷基，n为0或1～3的整数，当n为2或3时，每一个R基团可相同或不同，以100重量份所述碱溶性树脂计，所述交联剂的含量为2～50重量份，所述产酸剂的含量为0.1～10重量份。