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发明名称 Method of making transistors
摘要
申请公布号 EP1502295(A1) 申请公布日期 2005.02.02
申请号 EP20030747596 申请日期 2003.04.17
申请人 3M INNOVATIVE PROPERTIES COMPANY 发明人 THEISS, STEVEN D.;BAUDE, PAUL F.;HAASE, MICHAEL A.;THEISS, SILVA K.
分类号 H01L21/285;H01L51/00;C23C14/04;H01L21/316;H01L21/336;H01L29/417;H01L29/786;H01L51/05;H01L51/30;H01L51/40;(IPC1-7):H01L21/336;H01L51/20 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
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