LITHOGRAPHY LASER WITH BEAM DELIVERY AND BEAM POINTING CONTROL,申请号EP20030755348-传众专利搜索

发明名称	LITHOGRAPHY LASER WITH BEAM DELIVERY AND BEAM POINTING CONTROL
摘要
申请公布号	EP1502288(A2)	申请公布日期	2005.02.02
申请号	EP20030755348	申请日期	2003.05.05
申请人	CYMER, INC.	发明人	DAS, PALASH P.;GIOVANARDI, MARCO;FRANCIS, GREGORY;DORN, HUCKLEBERRY B.;ERLANDSEN, KYLE P.;NELSON, JOHN W.;SANDSTROM, RICHARD L.;ERSHOV, ALEXANDER I.;WEBB, R. KYLE
分类号	H01L21/00;H01L21/027;G02B26/08;G02B27/09;G03F7/20;H01L;H01S3/00;H01S3/034;H01S3/036;H01S3/04;H01S3/041;H01S3/0971;H01S3/10;H01S3/13;H01S3/134;H01S3/136;H01S3/137;H01S3/22;H01S3/223;H01S3/225;H01S3/23;(IPC1-7):H01L21/00	主分类号	H01L21/00
代理机构		代理人
主权项
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