| 发明名称 | 非锚式的静电启动的微型机电系统开关 | ||
| 摘要 | 一个微型机电系统(MEMS)开关(10)包括一个基底(12)以及一个被设置在基底(12)之上的不受应力的梁(14)。该不受应力的梁(14)被设置在第一和第二台架(16、18)以内，用以限制不受应力的梁(14)在基本上不平行于基底(12)的方向上的位移。被设置在不受应力的梁(14)的第一纵侧面(22)附近的一组一个或多个控制垫(20)，用以在不受应力的梁(14)的第一纵侧面(22)上产生一个电位。该不受应力的梁(14)可以按照该电位，沿着基本上平行于基底(12)的方向产生位移，以便提供一条信号通路。 | ||
| 申请公布号 | CN1574151A | 申请公布日期 | 2005.02.02 |
| 申请号 | CN200310119761.0 | 申请日期 | 2003.12.05 |
| 申请人 | 诺思路·格鲁曼公司 | 发明人 | 戴维·伊普 |
| 分类号 | H01H59/00;B81B5/00 | 主分类号 | H01H59/00 |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 李强 |
| 主权项 | 1.一种微型机电系统开关，包括：基底；被设置在基底之上并且处于第一和第二台架内的不受应力的梁，第一和第二台架被设置在基底之上，以限制不受应力的梁在基本上不平行于基底的方向上的位移；以及被设置在不受应力的梁的第一纵侧面附近的一组一个或多个控制垫，用以在不受应力的梁的第一纵侧面上产生一个电位，其中，该不受应力的梁可以按照所述电位沿着基本上平行于基底的方向产生位移，用以提供一条信号通路。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚 | ||