清洗装置

摘要

本发明提供了一种在减少灰尘的发生源的同时，通过防止吹在被清洗物上的CO₂的结露，可以进行洁净清洗的清洗装置。在从喷嘴将溶媒喷射在被清洗物上进行清洗的清洗装置中，为了防止被清洗物的结露，具有将加热的气体喷射在被清洗物表面上的气体喷射装置，当清洗时该气体喷射装置在上述被清洗物上移动，在不清洗时从上述被清洗物退避。在不清洗时，喷射小流量的加热气体，在清洗时，喷射大流量的加热气体。

主权项

1.一种清洗装置，其可将清洗剂从喷嘴喷射至被清洗物上进行清洗，其特征为，具有将加热的气体喷射在被清洗物的表面上的气体喷射装置，清洗时可在所述被清洗物上移动，不清洗时从所述被清洗物上退避，在清洗时和非清洗时可以控制所述加热的气体的喷射量。