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发明名称
METHODS AND APPARATUS FOR HOLDING AND POSITIONING SEMICONDUCTOR WORKPIECES DURING ELECTROPOLISHING AND/OR ELECTROPLATING OF THE WORKPIECES
摘要
申请公布号
KR20050013179(A)
申请公布日期
2005.02.02
申请号
KR20057000594
申请日期
1999.11.24
申请人
发明人
分类号
C25D7/12;H01L21/288;C25D17/06;C25D17/08;C25D21/10;C25F7/00;H01L21/3063;H01L21/321;H01L21/687
主分类号
C25D7/12
代理机构
代理人
主权项
地址
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