发明名称 METHODS AND APPARATUS FOR HOLDING AND POSITIONING SEMICONDUCTOR WORKPIECES DURING ELECTROPOLISHING AND/OR ELECTROPLATING OF THE WORKPIECES
摘要
申请公布号 KR20050013179(A) 申请公布日期 2005.02.02
申请号 KR20057000594 申请日期 1999.11.24
申请人 发明人
分类号 C25D7/12;H01L21/288;C25D17/06;C25D17/08;C25D21/10;C25F7/00;H01L21/3063;H01L21/321;H01L21/687 主分类号 C25D7/12
代理机构 代理人
主权项
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