发明名称 用于提高MOS性能的引入栅极的应变
摘要 本发明公开了一种装置,所述装置包括:定义出所述装置的内部的衬底;比所述衬底更靠外部的器件,所述器件包括栅电极;和比所述器件更靠外部且比所述衬底更靠外部的应变层。
申请公布号 CN1574395A 申请公布日期 2005.02.02
申请号 CN200410048245.8 申请日期 2004.06.14
申请人 英特尔公司 发明人 托马斯·霍夫曼;斯蒂芬·M·塞亚;马丁·D·贾尔斯
分类号 H01L29/78;H01L27/092;H01L21/336;H01L21/8234 主分类号 H01L29/78
代理机构 北京东方亿思专利代理有限责任公司 代理人 王怡
主权项 1.一种装置,包括:衬底;位于所述衬底上的器件,包括位于所述衬底的表面上方的栅电极;和被沉积在所述栅电极上方的应变材料。
地址 美国加利福尼亚州