发明名称 | 激光装置 | ||
摘要 | 本发明提供一种可射出高亮度激光的新型激光装置。具有多个将激光元件射出的激光束用聚光光学系统进行聚光,并从光纤(30)的入射端射入的激光模块(64),设有将该光纤(30)的射出端部形成束状的激光射出部(68)的激光装置中,该光纤(30)的各包层厚度h,按上述式<img file="200410047802.4_ab_0.GIF" wi="270" he="47" />算出的值以下构成,并能够射出为提高曝光装置的分辨率,作为激光源性能所要求的高亮度激光束。 | ||
申请公布号 | CN1573410A | 申请公布日期 | 2005.02.02 |
申请号 | CN200410047802.4 | 申请日期 | 2004.06.01 |
申请人 | 富士胶片株式会社 | 发明人 | 寺村友一;山中英生;冈崎洋二 |
分类号 | G02B26/08 | 主分类号 | G02B26/08 |
代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 朱丹 |
主权项 | 1.一种激光装置,具备多个激光模块,其具有激光元件、在芯周围设置的光纤、将由上述激光元件射出的激光束进行聚光,并从上述光纤入射端射入的聚光光学系统;并具备将上述多条光纤射出端部以束状排列形成为一体化的,射出一个出射光束用的激光射出部,其特征在于,其中,将上述多条光纤中的各包层厚度h,设定为按下述式:<img file="A2004100478020002C1.GIF" wi="1454" he="175" />算出的值以下而构成的。 | ||
地址 | 日本神奈川县 |