晶片测试机的单色器

摘要

本实用新型是一种晶片测试机的单色器，包括衍射晶片基座、衍射晶片、入射光光闸，其特征在于衍射晶片基座装有Y方向滑块和X方向滑块，并分别与方向导轨和X方向导轨滑动配合。本实用新型由于把可旋转的衍射晶片基座安装在有一个X方向滑块和一个Y方向滑块的基座上，此结构即能调整衍射晶片相对与入射光线的角度，又能调整衍射晶片与入射光线交点的目的，从而达到控制衍射光线位置的目的。结构调整简单，更容易精确调整测试光路。

主权项

1、一种晶片测试机的单色器，包括衍射晶片基座(1)、衍射晶片(3)、入射光光闸(12)，其特征在于衍射晶片基座(1)装有Y方向滑块(18)和X方向滑块(19)，并分别与方向导轨(10)和X方向导轨(9)滑动配合。