晶圆清洗液水柱位置检测装置

摘要

一种晶圆清洗液水柱位置检测装置，系有关于一种可广泛用于监控晶圆清洗系统中的清洗液水柱喷淋的位置检测装置，该装置具有监视清洗液水柱位置的能力，进而能使清洗液水柱位置状况显示出来，及可配合现有晶圆清洗系统，提供于具清洗液水柱位置状况监控需求的应用场所，可用于各种尺寸晶圆清洗的线上即时监控，其较已往的纯人工观察式的监控相比所提供功能增加甚多；其包含：光学信号发射装置，光学信号接收装置，信号处理装置。

主权项

1.一种晶圆清洗液水柱位置检测装置，其包含：一光学信号发射装置，具有光学信号发射源，该光学信号发射装置设于一晶圆承载台的第一侧边，且该光学信号发射源中心正对该晶圆承载台的旋转中心；一光学信号接收装置，设于一晶圆承载台第一侧边的对面侧边，具有接收该光学信号发射源射出的光学信号的能力；及一信号处理装置，与光学信号接收装置相连接，可判定该光学信号接收装置的接收状况；其中该光学信号接收装置在该光学信号穿越清洗液水柱时接收到较微弱的光学信号；其中该信号处理装置，具有输出端，以输出该接收状况给远方监控端。