发明名称 OXIDE FILM FORMING METHOD AND OXIDE FILM FORMING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20050012789(A) 申请公布日期 2005.02.02
申请号 KR20047020242 申请日期 2003.06.13
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;C23C16/40;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/50;C23C16/515;H01L21/31;H01L21/316 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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