| 发明名称 | 固态摄像器件 | ||
| 摘要 | 本发明公开一种固态摄像器件(100)，其中一波导(15)形成于光接收传感器部分(2)上的一绝缘层中，由通过CVD法沉积的Al膜制成的反射膜(17)覆盖波导(15)的侧壁(161)，一衬层膜(19)形成于反射膜(17)和波导(15)的侧壁(161)之间，而衬层膜(19)由VIA族元素制成。从而能获得一种包括波导的固态摄像器件，它能抑制衬层膜(19)吸收提供给光接收传感器部分(2)的氢，并且其包含具有良好的表面状况、良好的覆盖度和优良的吸附力的高反射率的反射膜(17)。 | ||
| 申请公布号 | CN1574378A | 申请公布日期 | 2005.02.02 |
| 申请号 | CN200410055218.3 | 申请日期 | 2004.06.11 |
| 申请人 | 索尼株式会社 | 发明人 | 高桥新吾;榎本容幸;阿部秀司 |
| 分类号 | H01L27/14;H04N5/225 | 主分类号 | H01L27/14 |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 李晓舒;魏晓刚 |
| 主权项 | 1.一种固态摄像器件，包括：一光接收传感器部分；一形成于所述光接收传感器部分中的绝缘层；一形成于所述绝缘膜中的波导；一由通过CVD法沉积的Al膜构成的反射膜，所述反射膜覆盖所述波导的侧壁；和一衬层膜，其形成于所述反射膜和所述波导的侧壁之间，其中，所述衬层膜由元素周期表上的VIA族元素形成。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||