基板运送装置和基板运送方法以及真空处理装置

摘要

本发明提供一种基板运送装置，该基板运送装置可在不增加高度方向的设置空间的情况下，增加水平方向的运送距离。叠置有基座板(71)和多个滑动板(72～74)的多段的滑动式的基板运送装置(70)按照下述方式构成：在为了进行载置于最上段的滑动板(74)的基板(G)的运送动作而多段叠置的基座板(71)和滑动板(72～73)的各个中，分别按照沿高度方向不妨碍的方式错开，形成开口部(71b)和开口部(72b～73b)，在其内部，收容有皮带轮(71c)、皮带轮(72c～73c)和皮带(71d)、皮带(72d～73d)等的滑动驱动机构部。

主权项

1.一种基板运送装置，其特征在于，该基板运送装置包括：载置基板的支承台；设置于所述支承台的下部的1个或以可滑动的方式叠置的多个板状臂；和臂驱动机构，该臂驱动机构分别设置于所述板状臂上，使位于该板状臂的上侧的所述支承台或所述板状臂滑动，通过使所述支承台和所述板状臂在收缩状态和伸长状态之间变化，在第一位置和第二位置之间，进行所述基板的运送动作，所述各板状臂具有在其内收容所述臂驱动机构的开口部。