细雾发生方法及其装置

摘要

通过使用导入加压气体的喷射喷嘴(33)喷射贮存在发生室(2)内的液体(10)，使液体碰撞到缓冲阀(4)上并细微化，将产生的喷雾保持在发生室(2)内，同时将细微化的雾导入粒子分选器(5)内，并与碰撞板(52)碰撞，然后将该碰撞板上发射的小于10μm的粒子作为细雾从排放口(56)排放去，以供给目标工件。附着在碰撞板上的大粒子被回收到发生器内。

主权项

1.一种细雾发生方法，该方法将液体细微化成细雾状态，并排放细雾，其特征在于：在贮存液体的发生室内，利用导入加压气体的喷射喷嘴喷射所述液体，使液体碰撞到缓冲阀上，以保持细微化，同时将这些细微化的微粒子导入分选器，并碰撞到碰撞板上，将推斥粒子作为细雾排放到外部。